но проверка в них на наличие дефектов производится в конце этапа травления
Уже существуют подобные технологии на основе Gerber файла,
после нанесения фоторезиста
Наше решение ориентировано на малы производства
Крупные используют огромные литражи растворов (~1000л), из-за чего химия стабильна
Малые столько использовать не могут, поэтому активный контроль им нужен больше всего (химия менее стабильна)
Новый технический процесс
Старый технический процесс